Multi-level microfabrication method used for the 3D AC electroosmotic micropump optimization - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2013

Multi-level microfabrication method used for the 3D AC electroosmotic micropump optimization

G. Dubourg
  • Fonction : Auteur
A. Treizebre
V. Senez
  • Fonction : Auteur
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

Collection IEMN  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00878893

Soumis le : jeudi 31 octobre 2013-10:45:08

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00878893 , version 1 (31-10-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00878893 , version 1

Citer

G. Dubourg, A. Treizebre, V. Senez. Multi-level microfabrication method used for the 3D AC electroosmotic micropump optimization. 39th International Conference on Micro and Nano Engineering, MNE 2013, 2013, London, United Kingdom. ⟨hal-00878893⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

CNRS UNIV-VALENCIENNES IEMN UNIV-LILLE
45 Consultations
0 Téléchargements

Partager

More