Communication Dans Un Congrès
Année : 2013
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https://hal.science/hal-00878809
Soumis le : jeudi 31 octobre 2013-09:08:23
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00878809 , version 1
Citer
V. Lacatena, M. Haras, J.F. Robillard, S. Monfray, T. Skotnicki, et al.. Phononic engineering of silicon using dots on the fly 'electron beam lithography and plasma etching'. 39th International Conference on Micro and Nano Engineering, MNE 2013, 2013, London, United Kingdom. ⟨hal-00878809⟩
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