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Communication Dans Un Congrès Année : 2013

Towards a new generation of MEMS-based AFM probes

Z. Xiong
  • Fonction : Auteur
B. Walter
  • Fonction : Auteur
E. Mairiaux
  • Fonction : Auteur
M. Faucher
L. Buchaillot
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00878807 , version 1 (31-10-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00878807 , version 1

Citer

Z. Xiong, B. Walter, E. Mairiaux, M. Faucher, L. Buchaillot, et al.. Towards a new generation of MEMS-based AFM probes. International Scanning Probe Microscopy Conference, ISPM 2013, 2013, Dijon, France. ⟨hal-00878807⟩
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