Microwave reflectometry : a high-resolution technique for measuring vibration of capacitive microresonators - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2013

Microwave reflectometry : a high-resolution technique for measuring vibration of capacitive microresonators

Bernard Legrand
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
CV
D. Ducatteau
  • Fonction : Auteur
D. Theron
B. Walter
  • Fonction : Auteur
H. Tanbakuchi
  • Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00877759

Soumis le : mardi 29 octobre 2013-10:47:02

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00877759 , version 1 (29-10-2013)

Identifiants

Citer

Bernard Legrand, D. Ducatteau, D. Theron, B. Walter, H. Tanbakuchi. Microwave reflectometry : a high-resolution technique for measuring vibration of capacitive microresonators. 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS 2013, 2013, Barcelona, Spain. paper M3P.140, 566-569, Outstanding poster presentation award nomination, ⟨10.1109/Transducers.2013.6626829⟩. ⟨hal-00877759⟩

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