High surface capacity Li-ion all solid state 3D microbattery based on anatase TiO2 deposited by ALD on silicon microstructures - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue ECS Transactions Année : 2013

High surface capacity Li-ion all solid state 3D microbattery based on anatase TiO2 deposited by ALD on silicon microstructures

E. Eustache
  • Fonction : Auteur
P. Tilmant
L. Morgenroth
  • Fonction : Auteur
P. Roussel
CV
N. Rolland
Thierry Brousse
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 917389
C. Lethien
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
CV

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https://hal.science/hal-00877701

Soumis le : mardi 29 octobre 2013-10:10:24

Dernière modification le : vendredi 2 février 2024-09:35:47

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00877701 , version 1 (29-10-2013)

Identifiants

Citer

E. Eustache, P. Tilmant, L. Morgenroth, P. Roussel, N. Rolland, et al.. High surface capacity Li-ion all solid state 3D microbattery based on anatase TiO2 deposited by ALD on silicon microstructures. ECS Transactions, 2013, 58, pp.119-129. ⟨10.1149/05810.0119ecst⟩. ⟨hal-00877701⟩

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