Modeling of MEMS resonator piezoelectric disc by means of an equicharge current source method - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Ultrasonics Année : 2013

Modeling of MEMS resonator piezoelectric disc by means of an equicharge current source method

L. Elmaimouni
  • Fonction : Auteur
F.E. Ratolojanahary
  • Fonction : Auteur
Jean-Etienne Lefebvre
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
J.G. Yu
  • Fonction : Auteur
A. Raherison
  • Fonction : Auteur
Tadeusz Gryba

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https://hal.science/hal-00877662

Soumis le : mardi 29 octobre 2013-09:42:21

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

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Dates et versions

hal-00877662 , version 1 (29-10-2013)

Identifiants

Citer

L. Elmaimouni, F.E. Ratolojanahary, Jean-Etienne Lefebvre, J.G. Yu, A. Raherison, et al.. Modeling of MEMS resonator piezoelectric disc by means of an equicharge current source method. Ultrasonics, 2013, 53, pp.1270-1279. ⟨10.1016/j.ultras.2013.03.011⟩. ⟨hal-00877662⟩

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