Piezoresistive ring-shaped AFM sensors with pico-newton force resolution - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue International Journal of Intelligent Mechatronics and Robotics Année : 2013

Piezoresistive ring-shaped AFM sensors with pico-newton force resolution

Z. Xiong
  • Fonction : Auteur
B. Walter
  • Fonction : Auteur
E. Mairiaux
  • Fonction : Auteur
M. Faucher
L. Buchaillot
Bernard Legrand
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
CV

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https://hal.science/hal-00871948

Soumis le : vendredi 11 octobre 2013-09:43:39

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

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Dates et versions

hal-00871948 , version 1 (11-10-2013)

Identifiants

Citer

Z. Xiong, B. Walter, E. Mairiaux, M. Faucher, L. Buchaillot, et al.. Piezoresistive ring-shaped AFM sensors with pico-newton force resolution. International Journal of Intelligent Mechatronics and Robotics, 2013, 3, pp.38-52. ⟨10.4018/ijimr.2013010104⟩. ⟨hal-00871948⟩

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