Detecting response of microelectromechanical resonators by microwave reflectometry - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Applied Physics Letters Année : 2013

Detecting response of microelectromechanical resonators by microwave reflectometry

Bernard Legrand
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
CV
D. Ducatteau
  • Fonction : Auteur
D. Theron
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
B. Walter
  • Fonction : Auteur
H. Tanbakuchi
  • Fonction : Auteur

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Sciences de l'ingénieur [physics]
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Citer

Bernard Legrand, D. Ducatteau, D. Theron, B. Walter, H. Tanbakuchi. Detecting response of microelectromechanical resonators by microwave reflectometry. Applied Physics Letters, 2013, 103, pp.053124-1-5. ⟨10.1063/1.4817411⟩. ⟨hal-00871931⟩

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