Cellule CMUT formée d'une membrane de nanotubes ou de nanofils ou de nanopoutres et dispositif d'imagerie acoustique ultra haute fréquence comprenant une pluralité de telles cellules - Archive ouverte HAL
Brevet Année : 2008

Cellule CMUT formée d'une membrane de nanotubes ou de nanofils ou de nanopoutres et dispositif d'imagerie acoustique ultra haute fréquence comprenant une pluralité de telles cellules

Résumé

L'invention concerne un transducteur électro-acoustique capacitif de type cMUT comprenant : au moins une membrane (105, 205) prévue pour osciller sous l'effet d'un champ électrique et/ou d'une onde acoustique, la membrane étant formée d'une ou plusieurs couches (301-306) de nanotubes ou de nano-fils ou de nano-poutres juxtaposés, ainsi qu'un dispositif d'imagerie acoustique ou un sonar UHF comportant de tels transducteurs.

Mots clés

BREVET TRANSDUCTEUR

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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https://hal.science/hal-00869213

Soumis le : mercredi 2 octobre 2013-17:00:39

Dernière modification le : mardi 3 décembre 2024-15:46:37

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00869213 , version 1 (02-10-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00869213 , version 1

Citer

Bérengère Lebental, Anne Ghis. Cellule CMUT formée d'une membrane de nanotubes ou de nanofils ou de nanopoutres et dispositif d'imagerie acoustique ultra haute fréquence comprenant une pluralité de telles cellules. France, N° de brevet: 08 57928. 2008, 58 p. ⟨hal-00869213⟩

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