Interféromètre de type Mach-Zehnder en silicium poreux : application aux biocapteurs
Résumé
Dans cette étude est présentée la réalisation et la caractérisation d'un guide d'ondes optique enterré et anti-résonant à base de silicium poreux. Ce guide d'ondes est intégré dans une structure interférométrique de type Mach-Zehnder qui sera utilisée pour une application de biodétection. Les simulations et les caractérisations optiques montrent clairement le guidage monomode ainsi que le caractère anti-résonant des guides d'ondes enterrés.
| Origine | Fichiers produits par l'(les) auteur(s) |
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