Nanometrology for self-assembly nanofabrication method - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2013

Nanometrology for self-assembly nanofabrication method

W. Khunsin
  • Fonction : Auteur
C. Simao
  • Fonction : Auteur
D. Tuchapsky
  • Fonction : Auteur
A. Amman
  • Fonction : Auteur
M. Salaun
Laboratoire des technologies de la microélectronique
CV
M. Zelsmann
Laboratoire des technologies de la microélectronique
T. Kehoe
  • Fonction : Auteur
J. Gomis-Bresco
  • Fonction : Auteur
N. Kehagias
  • Fonction : Auteur
M. A. Morris
  • Fonction : Auteur
C. M. Sotomayor Torres
  • Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00860944

Soumis le : mercredi 11 septembre 2013-15:05:00

Dernière modification le : mercredi 18 décembre 2024-10:16:30

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00860944 , version 1 (11-09-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00860944 , version 1

Citer

W. Khunsin, C. Simao, D. Tuchapsky, A. Amman, M. Salaun, et al.. Nanometrology for self-assembly nanofabrication method. 9th International Conference on Industrial Dimensional Metrology, Metromeet 2013, Mar 2013, Bilbao, Spain. ⟨hal-00860944⟩

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