%0 Conference Paper %F Oral %T Dépôt et caractérisation de couches minces diélectriques La-Ti-O-N %+ Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique (IETR) %+ Institut des Nanosciences de Paris (INSP) %+ Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI) %+ Institut des Sciences Chimiques de Rennes (ISCR) %A Lu, Yu %A Benzegoutta, Dhafira %A Nguyen, Viet Hung %A Benzerga, Ratiba %A Le Paven-Thivet, Claire %A Le Gendre, Laurent %A Sharaiha, Ala %A Delaveaud, Christophe %A Tessier, Franck %A Cheviré, François %< avec comité de lecture %B IBAF 2012 : Ion Beam Analysis Francophone - 4ème Rencontre "Analyse par faisceaux d'ions rapides" %C Saint-Paul-Lès-Durance, France %8 2012-12-11 %D 2012 %Z Chemical Sciences/Material chemistryConference papers %G French %L hal-00855438 %U https://hal.science/hal-00855438 %~ CEA %~ UNIV-NANTES %~ UPMC %~ UNIV-RENNES1 %~ CNRS %~ INSA-RENNES %~ ENSC-RENNES %~ IETR %~ INSP %~ ALLINSP %~ ISCR %~ SCR_VC %~ IETR_MF %~ SCR_CTI %~ DRT %~ UR1-SPM %~ INC-CNRS %~ UR1-UFR-SPM %~ UR1-HAL %~ UR1-MATH-STIC %~ UR1-SDLM %~ UR1-SDLMJONCH %~ UR1-UFR-ISTIC %~ IETR-CUTE %~ IETR-FUNMAT %~ UPMC_POLE_2 %~ IVER %~ IETR-ADH %~ TEST-UNIV-RENNES %~ LETI %~ TEST-UR-CSS %~ UNIV-RENNES %~ INSA-GROUPE %~ SORBONNE-UNIVERSITE %~ CEA-GRE %~ SU-SCIENCES %~ UR1-MATH-NUM %~ UR1-MMS %~ ALLIANCE-SU %~ IETR-STAR %~ NANTES-UNIVERSITE %~ UNIV-NANTES-AV2022