Dépôt et caractérisation de couches minces diélectriques La-Ti-O-N
Yu Lu
(1)
,
Dhafira Benzegoutta
(2)
,
Viet Hung Nguyen
(3)
,
Ratiba Benzerga
(1)
,
Claire Le Paven-Thivet
(1)
,
Laurent Le Gendre
(1)
,
Ala Sharaiha
(1)
,
Christophe Delaveaud
(3)
,
Franck Tessier
(4)
,
François Cheviré
(4)
1
IETR -
Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
2 INSP - Institut des Nanosciences de Paris
3 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
4 ISCR - Institut des Sciences Chimiques de Rennes
2 INSP - Institut des Nanosciences de Paris
3 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
4 ISCR - Institut des Sciences Chimiques de Rennes
Ratiba Benzerga
- Fonction : Auteur
- PersonId : 835208
- ORCID : 0000-0002-5755-0041
Laurent Le Gendre
- Fonction : Auteur
- PersonId : 834293
Christophe Delaveaud
- Fonction : Auteur
- PersonId : 844433
Franck Tessier
- Fonction : Auteur
- PersonId : 9235
- IdHAL : franck-tessier
- ORCID : 0000-0002-1253-7011
- IdRef : 082987459
François Cheviré
- Fonction : Auteur
- PersonId : 5145
- IdHAL : francois-chevire
- ORCID : 0000-0002-5605-6113
- IdRef : 082987386