Development of (GeSe2)100-x (Sb2Se3)x glasses and sputtered films for micro-sensors devices - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2013

Development of (GeSe2)100-x (Sb2Se3)x glasses and sputtered films for micro-sensors devices

Emeline Baudet
  • Fonction : Auteur
Institut des Sciences Chimiques de Rennes
Virginie Nazabal
Institut des Sciences Chimiques de Rennes
CV
Emmanuel Rinnert
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 831551
Unité Recherches et Développements Technologiques
Florent Colas
  • Fonction : Auteur
Unité Recherches et Développements Technologiques
Chantal Compère
  • Fonction : Auteur
Unité Recherches et Développements Technologiques
Karine Michel
Bureau de Recherches Géologiques et Minières
Françis Garrido
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 856479
Bureau de Recherches Géologiques et Minières
Joël Charrier
Fonctions Optiques pour les Technologies de l'informatiON
CV
Hervé Lhermite
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 841362
Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
Petr Nemec
  • Fonction : Auteur
Department of Graphic Arts and Photophysics [University of Pardubice]
Frédéric Verger
  • Fonction : Auteur
Institut des Sciences Chimiques de Rennes
Catherine Boussard-Pledel
Institut des Sciences Chimiques de Rennes
Bruno Bureau
Institut des Sciences Chimiques de Rennes

Résumé

We prepared (GeSe2)100-x(Sb2Se3)x thin films with different sputtering parameters. Chalcogenide thin films were also characterized by studying their chemical composition, topography, morphology structure and refractive index in order to fabricate planar waveguide suitable for mid-IR

Mots clés

chalcogenide sensors

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Hervé Lhermite  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00846728

Soumis le : vendredi 19 juillet 2013-17:08:38

Dernière modification le : jeudi 17 octobre 2024-11:46:04

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00846728 , version 1 (19-07-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00846728 , version 1

Citer

Emeline Baudet, Virginie Nazabal, Emmanuel Rinnert, Florent Colas, Chantal Compère, et al.. Development of (GeSe2)100-x (Sb2Se3)x glasses and sputtered films for micro-sensors devices. E-MRS 2013 FALL MEETING, Jul 2013, Warsaw, Poland. ⟨hal-00846728⟩

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