Article Dans Une Revue
ECS Transactions
Année : 2012
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https://hal.science/hal-00843720
Soumis le : vendredi 12 juillet 2013-09:17:57
Dernière modification le : lundi 23 mars 2026-09:17:51
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00843720 , version 1
Citer
L. Assaud, M. Hanbücken, L. Santinacci. Atomic layer deposition of TiN/Al2O3/TiN nanolaminates for capacitor applications. ECS Transactions, 2012, 50 (13), pp.151-157. ⟨hal-00843720⟩
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