Measuring the energy flux at the substrate position during magnetron sputter deposition processes - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Journal of Applied Physics Année : 2013

Measuring the energy flux at the substrate position during magnetron sputter deposition processes

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

Remi Dussart  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00831364

Soumis le : jeudi 6 juin 2013-18:23:50

Dernière modification le : mardi 3 décembre 2024-13:00:08

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Dates et versions

hal-00831364 , version 1 (06-06-2013)

Identifiants

Citer

Pierre-Antoine Cormier, A. Balhamri, Anne-Lise Thomann, Remi Dussart, Nadjib Semmar, et al.. Measuring the energy flux at the substrate position during magnetron sputter deposition processes. Journal of Applied Physics, 2013, 113, pp.013305. ⟨10.1063/1.4773103⟩. ⟨hal-00831364⟩

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