Contribution à la conception optimale de microsystèmes en silicium à actionnement électrostatique. Synthèse automatique, réalisation et caractérisation d'une micropince à haute résolution de force - Archive ouverte HAL Access content directly
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Contribution à la conception optimale de microsystèmes en silicium à actionnement électrostatique. Synthèse automatique, réalisation et caractérisation d'une micropince à haute résolution de force

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Dates and versions

hal-00827398 , version 1 (29-05-2013)

Identifiers

  • HAL Id : hal-00827398 , version 1

Cite

Aymen Grira. Contribution à la conception optimale de microsystèmes en silicium à actionnement électrostatique. Synthèse automatique, réalisation et caractérisation d'une micropince à haute résolution de force. 2013. ⟨hal-00827398⟩
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