Method for etching a material in the presence of a solid particles
Résumé
Procédé de gravure d'une structure (1) comprenant au moins un matériau à graver (4), comprenant : - choisir au moins une espèce chimique apte à réagir avec le matériau à graver (4), - choisir au moins un composé soluble apte à libérer l'espèce chimique précitée, - réaliser une solution (11) contenant ledit composé et contenant une poudre de particules ou grains solides (13) en suspension, - placer le matériau à graver en présence de la solution, - et produire dans la solution des ultrasons à haute fréquence, à au moins une fréquence, apte à générer des bulles actives de cavitation telles que l'espèce chimique est générée et réagit avec le matériau à graver en produisant un composé soluble ou un précipité.