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Brevet Année : 2012

Method for etching a material in the presence of a gas

Résumé

Procédé de gravure d'une structure (1) comprenant au moins un matériau à graver (4), comprenant : - choisir au moins une espèce chimique apte à réagir avec le matériau à graver (4), - choisir au moins un composé soluble apte à libérer l'espèce chimique précitée, - réaliser une solution (11) contenant ledit composé, - placer la structure (1) dans une position telle que la surface du matériau à graver soit en présence de la solution et de bulles additionnelles d'un gaz, - et produire dans la solution des ultrasons à haute fréquence, à au moins une fréquence, apte à générer des bulles réactives de cavitation telles que l'espèce chimique est générée en présence desdites bulles additionnelles et réagit avec le matériau à graver en produisant un composé soluble ou un précipité.

Domaines

Matériaux
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00824491 , version 1 (21-05-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00824491 , version 1

Citer

Francis Baillet, N. Gondrexon. Method for etching a material in the presence of a gas. France, Patent n° : EP2432586 (A1). TOP. 2012. ⟨hal-00824491⟩
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