Structuration submicronique sur oxydes ferroélectriques : application aux circuits millimétriques agiles - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2008
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00811204 , version 1 (10-04-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00811204 , version 1

Citer

A. Khalfallaoui, G. Houzet, G. Velu, Ludovic Burgnies, JC Carru, et al.. Structuration submicronique sur oxydes ferroélectriques : application aux circuits millimétriques agiles. Workshop 'Oxydes fonctionnels pour l'intégration en micro- et nano-électronique', 2008, Autrans, France. ⟨hal-00811204⟩
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