5.4 MHz dog-bone oscillating AFM probe with thermal actuation and piezoresistive detection - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2013

5.4 MHz dog-bone oscillating AFM probe with thermal actuation and piezoresistive detection

Z. Xiong
  • Fonction : Auteur
E. Mairiaux
  • Fonction : Auteur
B. Walter
  • Fonction : Auteur
M. Faucher
L. Buchaillot
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00809858 , version 1 (10-04-2013)

Identifiants

Citer

Z. Xiong, E. Mairiaux, B. Walter, M. Faucher, L. Buchaillot, et al.. 5.4 MHz dog-bone oscillating AFM probe with thermal actuation and piezoresistive detection. 26th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2013, 2013, Taipei, Taiwan. pp.592-595, ⟨10.1109/MEMSYS.2013.6474311⟩. ⟨hal-00809858⟩
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