5.4 MHz dog-bone oscillating AFM probe with thermal actuation and piezoresistive detection

We report on a new concept of Atomic Force Microscope (AFM) oscillating probes using dog-bone resonator with thermal excitation and piezoresistive detection. The resonance frequency is 5.4 MHz and the quality factor is measured about 4,000 in air. AFM images are obtained over PMMA resist sample and the force resolution deduced from the measurement is about 320 pN/Hz0.5.

Domaines

Physique [physics]

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https://hal.science/hal-00809858

Soumis le : mercredi 18 septembre 2024-14:19:46

Dernière modification le : vendredi 20 septembre 2024-07:47:12

Archivage à long terme le : vendredi 20 décembre 2024-14:41:00

Dates et versions

hal-00809858 , version 1 (18-09-2024)

Licence

Paternité - Pas d'utilisation commerciale

Identifiants

HAL Id : hal-00809858 , version 1
DOI : 10.1109/MEMSYS.2013.6474311

Citer

Zhuang Xiong, Estelle Mairiaux, Benjamin Walter, Marc Faucher, Lionel Buchaillot, et al.. 5.4 MHz dog-bone oscillating AFM probe with thermal actuation and piezoresistive detection. 26th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2013, 2013, Taipei, Taiwan. pp.592-595, ⟨10.1109/MEMSYS.2013.6474311⟩. ⟨hal-00809858⟩

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