PS-b-PDMS nano-imprinting: A path for high throughput ultrahigh resolution lithography - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2012

PS-b-PDMS nano-imprinting: A path for high throughput ultrahigh resolution lithography

M. Salaun
Laboratoire des technologies de la microélectronique
CV
S. Vayssières
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique
S. Archambault
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique
C. Simao
  • Fonction : Auteur
N. Kehagias
  • Fonction : Auteur
C. M. Sotomayor Torres
  • Fonction : Auteur
O. Lorret
  • Fonction : Auteur
D. Borah
  • Fonction : Auteur
M. A. Morris
  • Fonction : Auteur
M. Zelsmann
Laboratoire des technologies de la microélectronique

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00809054

Soumis le : lundi 8 avril 2013-14:15:41

Dernière modification le : mercredi 18 décembre 2024-09:22:41

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00809054 , version 1 (08-04-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00809054 , version 1

Citer

M. Salaun, S. Vayssières, S. Archambault, C. Simao, N. Kehagias, et al.. PS-b-PDMS nano-imprinting: A path for high throughput ultrahigh resolution lithography. Micro- and Nano-Engineering conference- MNE 2012, Sep 2012, Toulouse, France. ⟨hal-00809054⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

CEA UGA CNRS FMNT LTM LITHOGRAPHY
55 Consultations
0 Téléchargements

Partager

More