Fabrication of conducting IPN actuators for microsystems - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2011

Fabrication of conducting IPN actuators for microsystems

Alexandre Khaldi
CV
Cedric Plesse
CV
D. Teyssie
  • Fonction : Auteur
C. Chevrot
  • Fonction : Auteur
Eric Cattan
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
F. Vidal
  • Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00807653

Soumis le : jeudi 4 avril 2013-10:14:52

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00807653 , version 1 (04-04-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00807653 , version 1

Citer

Alexandre Khaldi, Cedric Plesse, D. Teyssie, C. Chevrot, Eric Cattan, et al.. Fabrication of conducting IPN actuators for microsystems. Stuttgart Nanodays International Conference, 2011, Stuttgart, Germany. ⟨hal-00807653⟩

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