Conference Papers Year : 2011

Cinétique du milieu de polymérisation du TMDSO assistée par plasma en post-décharge

S. Abou Rich
  • Function : Author
P. Supiot
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Dates and versions

hal-00807646 , version 1 (04-04-2013)

Identifiers

  • HAL Id : hal-00807646 , version 1

Cite

S. Abou Rich, Céline Vivien, P. Supiot. Cinétique du milieu de polymérisation du TMDSO assistée par plasma en post-décharge. XIIIème Congrès de la Société Française de Génie des Procédés, SFGP 2011, 2011, Lille, France. ⟨hal-00807646⟩
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