Siloxane polymerization on micro-patterned substrates by RPECVD - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2011
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00807645 , version 1 (04-04-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00807645 , version 1

Citer

Philippe Supiot, Céline Vivien, Karine Blary. Siloxane polymerization on micro-patterned substrates by RPECVD. 18th International Colloquium on Plasma Processes, CIP 2011, 2011, Nantes, France. ⟨hal-00807645⟩
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