Determination of the Young's modulus of a TiN Thin Film by nanoindentation: analytical models and numerical FEM simulation. - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue e-Journal of Surface Science and Nanotechnology Année : 2012

Determination of the Young's modulus of a TiN Thin Film by nanoindentation: analytical models and numerical FEM simulation.

H. Isselé
  • Fonction : Auteur
D. Mercier
  • Fonction : Auteur
G. Parry
Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés
R. Estevez
  • Fonction : Auteur
Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés
L. Vignoud
  • Fonction : Auteur
C. Olagnon.

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Matériaux

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https://hal.science/hal-00802008

Soumis le : lundi 18 mars 2013-19:08:05

Dernière modification le : lundi 15 avril 2024-10:49:00

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00802008 , version 1 (18-03-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00802008 , version 1

Citer

H. Isselé, D. Mercier, G. Parry, R. Estevez, L. Vignoud, et al.. Determination of the Young's modulus of a TiN Thin Film by nanoindentation: analytical models and numerical FEM simulation.. e-Journal of Surface Science and Nanotechnology, 2012, 10, pp.624-629. ⟨hal-00802008⟩

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