Fabrication, characterization and analysis of AlN thin films grown on HR-silicon by MBE and PVD methods - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2012

Fabrication, characterization and analysis of AlN thin films grown on HR-silicon by MBE and PVD methods

N. Defrance
Marie Lesecq
F. Lecourt
  • Fonction : Auteur
Virginie Hoel
Jean-Claude de Jaeger
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

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https://hal.science/hal-00801190

Soumis le : vendredi 15 mars 2013-11:23:16

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00801190 , version 1 (15-03-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00801190 , version 1

Citer

N. Defrance, Marie Lesecq, F. Lecourt, Virginie Hoel, Jean-Claude de Jaeger. Fabrication, characterization and analysis of AlN thin films grown on HR-silicon by MBE and PVD methods. 11th Expert Meeting on Evaluation & Control of Coumpound Semiconductor Materials and Technologies, EXMATEC 2012, 2012, Porquerolles, France. pp.1-2. ⟨hal-00801190⟩

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