Conception and fabrication of piezo-resistive ring shaped AFM probe - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2012

Conception and fabrication of piezo-resistive ring shaped AFM probe

Z. Xiong
  • Fonction : Auteur
B. Walter
  • Fonction : Auteur
E. Mairiaux
  • Fonction : Auteur
M. Faucher
L. Buchaillot
Bernard Legrand
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
CV

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https://hal.science/hal-00801106

Soumis le : vendredi 15 mars 2013-10:03:34

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00801106 , version 1 (15-03-2013)

Identifiants

Citer

Z. Xiong, B. Walter, E. Mairiaux, M. Faucher, L. Buchaillot, et al.. Conception and fabrication of piezo-resistive ring shaped AFM probe. 25th IEEE Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2012, 2012, Paris, France. pp.547-550, ⟨10.1109/MEMSYS.2012.6170180⟩. ⟨hal-00801106⟩

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