Piezo-resistive ring-shaped AFM sensors with pico-newton force resolution - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2012

Piezo-resistive ring-shaped AFM sensors with pico-newton force resolution

Z. Xiong
  • Fonction : Auteur
B. Walter
  • Fonction : Auteur
E. Mairiaux
  • Fonction : Auteur
M. Faucher
L. Buchaillot
Bernard Legrand
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
CV

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https://hal.science/hal-00801105

Soumis le : vendredi 15 mars 2013-09:55:21

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00801105 , version 1 (15-03-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00801105 , version 1

Citer

Z. Xiong, B. Walter, E. Mairiaux, M. Faucher, L. Buchaillot, et al.. Piezo-resistive ring-shaped AFM sensors with pico-newton force resolution. 2nd International Conference on Manipulation, Manufacturing and Measurement on the Nanoscale, 3M-NANO 2012, 2012, Xi'an, China. Paper ID 1200991, Best application paper award, 184-189. ⟨hal-00801105⟩

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