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Communication Dans Un Congrès Année : 2012

GaN MEMS resonators : from demonstration to microsystem-compatible performances

Achraf Ben Amar
  • Fonction : Auteur
Matthieu Werquin
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1105225
Marc François
Damien Ducatteau
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00801104 , version 1 (15-03-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00801104 , version 1

Citer

Marc Faucher, Achraf Ben Amar, Victor Y. Zhang, Yvon Cordier, Matthieu Werquin, et al.. GaN MEMS resonators : from demonstration to microsystem-compatible performances. 36th Workshop on Compound Semiconductor Devices and Integrated Circuits, WOCSDICE 2012, 2012, Porquerolles, France. pp.1-4. ⟨hal-00801104⟩
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