Extended Lamb's model application to high-order resonances of micromachined circular membranes with integrated actuation and sensing capabilities - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2010

Extended Lamb's model application to high-order resonances of micromachined circular membranes with integrated actuation and sensing capabilities

Liviu Nicu
Thomas Alava
  • Fonction : Auteur
Fabrice Mathieu
CV
Caroline Soyer
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
Denis Remiens

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https://hal.science/hal-00800898

Soumis le : jeudi 14 mars 2013-16:10:15

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00800898 , version 1 (14-03-2013)

Identifiants

Citer

Liviu Nicu, Thomas Alava, Fabrice Mathieu, Caroline Soyer, Denis Remiens. Extended Lamb's model application to high-order resonances of micromachined circular membranes with integrated actuation and sensing capabilities. IEEE Sensors Conference, 2010, Waikoloa, HI, United States. pp.245-248, ⟨10.1109/ICSENS.2010.5690478⟩. ⟨hal-00800898⟩

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