Time-resolved electron density and OES measurements for studying the surface loss rates of H and Cl atoms in a Cl2-H2 ICP plasma - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2010

Time-resolved electron density and OES measurements for studying the surface loss rates of H and Cl atoms in a Cl2-H2 ICP plasma

G. Curley
  • Fonction : Auteur
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
L. Gatilova
  • Fonction : Auteur
S. Guilet
  • Fonction : Auteur
S. Bouchoule
  • Fonction : Auteur
G. Gogna
  • Fonction : Auteur
N. Sirse
  • Fonction : Auteur
S. Karkari
  • Fonction : Auteur
J.P. Booth
CV

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https://hal.science/hal-00800895

Soumis le : jeudi 14 mars 2013-16:07:41

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00800895 , version 1 (14-03-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00800895 , version 1

Citer

G. Curley, L. Gatilova, S. Guilet, S. Bouchoule, G. Gogna, et al.. Time-resolved electron density and OES measurements for studying the surface loss rates of H and Cl atoms in a Cl2-H2 ICP plasma. 63rd Annual Gaseous Electronics Conference and 7th International Conference on Reactive Plasmas, 2010, Paris, France. TF4-005, 763-764, Hori M. and Graha W.G. (Eds), Japan Society of Applied Physics. ⟨hal-00800895⟩

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