Dry etching process on a conducting interpenetrating polymer network actuator for a flapping fly micro robot - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2011

Dry etching process on a conducting interpenetrating polymer network actuator for a flapping fly micro robot

Alexandre Khaldi
CV
Cedric Plesse
CV
Caroline Soyer
Eric Cattan
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
F. Vidal
  • Fonction : Auteur
C. Chevrot
  • Fonction : Auteur
D. Teyssie
  • Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00800389

Soumis le : mercredi 13 mars 2013-16:10:28

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00800389 , version 1 (13-03-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00800389 , version 1

Citer

Alexandre Khaldi, Cedric Plesse, Caroline Soyer, Eric Cattan, F. Vidal, et al.. Dry etching process on a conducting interpenetrating polymer network actuator for a flapping fly micro robot. ASME 2011 International Mechanical Engineering Congress & Exposition, IMECE 2011, 2011, Denver, CO, United States. pp.IMECE2011-63505-1-3. ⟨hal-00800389⟩

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