Dispersion of confined acoustic phonons in ultra-thin silicon membranes - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2011

Dispersion of confined acoustic phonons in ultra-thin silicon membranes

J. Cuffe
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E. Chavez
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P.O. Chapuis
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E.H. El Boudouti
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F. Alzina
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D. Dudek
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Yan Pennec
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Bahram Djafari-Rouhani
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
A. Shchepetov
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https://hal.science/hal-00800088

Soumis le : mercredi 13 mars 2013-10:58:45

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00800088 , version 1 (13-03-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00800088 , version 1

Citer

J. Cuffe, E. Chavez, P.O. Chapuis, E.H. El Boudouti, F. Alzina, et al.. Dispersion of confined acoustic phonons in ultra-thin silicon membranes. 7th Workshop of the Thematic Network on Silicon on Insulator Technology, Devices and Circuits, EUROSOI 2011, 2011, Granada, Spain. pp.125-126. ⟨hal-00800088⟩

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