Conception and fabrication of silicon ring resonator with piezo-resistive detection for force sensing applications - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2011

Conception and fabrication of silicon ring resonator with piezo-resistive detection for force sensing applications

Z. Xiong
  • Fonction : Auteur
B. Walter
  • Fonction : Auteur
E. Mairiaux
  • Fonction : Auteur
M. Faucher
L. Buchaillot
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00800036 , version 1 (13-03-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00800036 , version 1

Citer

Z. Xiong, B. Walter, E. Mairiaux, M. Faucher, L. Buchaillot, et al.. Conception and fabrication of silicon ring resonator with piezo-resistive detection for force sensing applications. ASME 2011 International Mechanical Engineering Congress & Exposition, IMECE 2011, 2011, Denver, CO, United States. pp.IMECE2011-65083-1-5. ⟨hal-00800036⟩
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