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Communication Dans Un Congrès Année : 2011

Deposition of crack-free 30 µm AlN on IDT/ZnO/Si for wave guiding layer acoustic wave applications

O. Legrani
  • Fonction : Auteur
O. Elmazria
P. Pigeat
  • Fonction : Auteur
A. Bartasyte
  • Fonction : Auteur
S. Zhgoon
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00799998 , version 1 (13-03-2013)

Identifiants

Citer

O. Legrani, O. Elmazria, P. Pigeat, A. Bartasyte, S. Zhgoon, et al.. Deposition of crack-free 30 µm AlN on IDT/ZnO/Si for wave guiding layer acoustic wave applications. IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS 2011, 2011, Orlando, FL, United States. pp.2313-2316, ⟨10.1109/ULTSYM.2011.0574⟩. ⟨hal-00799998⟩
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