Communication Dans Un Congrès
Année : 2011
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https://hal.science/hal-00799998
Soumis le : mercredi 13 mars 2013-09:00:25
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Citer
O. Legrani, O. Elmazria, P. Pigeat, A. Bartasyte, S. Zhgoon, et al.. Deposition of crack-free 30 µm AlN on IDT/ZnO/Si for wave guiding layer acoustic wave applications. IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS 2011, 2011, Orlando, FL, United States. pp.2313-2316, ⟨10.1109/ULTSYM.2011.0574⟩. ⟨hal-00799998⟩
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