Autre Publication Scientifique
Année : 2012
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https://hal.science/hal-00799254
Soumis le : mardi 12 mars 2013-08:17:31
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00799254 , version 1
Citer
Bernard Legrand. Contribution au domaine des actionneurs et résonateurs microélectromécaniques. Applications à la nanocaractérisation. 2012. ⟨hal-00799254⟩
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