Ga3+ focused ion beam for piezo electric nano structuration fabrication - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Chapitre D'ouvrage Année : 2012

Ga3+ focused ion beam for piezo electric nano structuration fabrication

Denis Remiens
D. Deresmes
J. Costecalde
  • Fonction : Auteur

Dates et versions

hal-00798990 , version 1 (11-03-2013)

Identifiants

Citer

Denis Remiens, D. Deresmes, David Troadec, J. Costecalde. Ga3+ focused ion beam for piezo electric nano structuration fabrication. Goorsky M. Ion implantation, InTech, chapter 13, 315-326, 2012, ISBN 978-953-51-0634-0. ⟨10.5772/34139⟩. ⟨hal-00798990⟩
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