Conference Papers
Year : 2012
Collection IEMN : Connect in order to contact the contributor
https://hal.science/hal-00798836
Submitted on : Monday, March 11, 2013-8:25:39 AM
Last modification on : Tuesday, March 26, 2024-3:22:16 PM
Dates and versions
Identifiers
- HAL Id : hal-00798836 , version 1
Cite
Adriana Annusova, Corinne Foissac, Pavel Veis, Philippe Supiot. Production d'espèces par un plasma N2-xO2 et réactivité pour le dépôt de couches minces organosiliciées : étude en spectrométrie de masse. Journée Jeunes Chercheurs de l'Union de Génie des Procédés et de l'Energétique du Nord-Pas-de-Calais, UGéPE 2012, 2012, Roubaix, France. ⟨hal-00798836⟩
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