Production d'espèces par un plasma N2-xO2 et réactivité pour le dépôt de couches minces organosiliciées : étude en spectrométrie de masse - Archive ouverte HAL
Conference Papers Year : 2012
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Dates and versions

hal-00798836 , version 1 (11-03-2013)

Identifiers

  • HAL Id : hal-00798836 , version 1

Cite

Adriana Annusova, Corinne Foissac, Pavel Veis, Philippe Supiot. Production d'espèces par un plasma N2-xO2 et réactivité pour le dépôt de couches minces organosiliciées : étude en spectrométrie de masse. Journée Jeunes Chercheurs de l'Union de Génie des Procédés et de l'Energétique du Nord-Pas-de-Calais, UGéPE 2012, 2012, Roubaix, France. ⟨hal-00798836⟩
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