Communication Dans Un Congrès
Année : 2012
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https://hal.science/hal-00798836
Soumis le : lundi 11 mars 2013-08:25:39
Dernière modification le : mardi 26 mars 2024-15:22:16
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00798836 , version 1
Citer
Adriana Annusova, Corinne Foissac, Pavel Veis, Philippe Supiot. Production d'espèces par un plasma N2-xO2 et réactivité pour le dépôt de couches minces organosiliciées : étude en spectrométrie de masse. Journée Jeunes Chercheurs de l'Union de Génie des Procédés et de l'Energétique du Nord-Pas-de-Calais, UGéPE 2012, 2012, Roubaix, France. ⟨hal-00798836⟩
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