Résonateurs MEMS en nitrure de gallium - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2012

Résonateurs MEMS en nitrure de gallium

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00797721 , version 1 (07-03-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00797721 , version 1

Citer

Marc Faucher, Didier Theron, Yvon Cordier, Fabrice Semond, Achraf Ben Amar, et al.. Résonateurs MEMS en nitrure de gallium. Journées Nationales du GDR Micro Nano Systèmes-Micro Nano Fluidique, 2012, Bordeaux, France. ⟨hal-00797721⟩
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