Micro-résonateurs haute fréquence pour la microscopie à force atomique - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2012

Micro-résonateurs haute fréquence pour la microscopie à force atomique

B. Walter
  • Fonction : Auteur
M. Faucher
E. Mairiaux
  • Fonction : Auteur
Z. Xiong
  • Fonction : Auteur
L. Buchaillot
Bernard Legrand
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
CV

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https://hal.science/hal-00797720

Soumis le : jeudi 7 mars 2013-09:54:59

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00797720 , version 1 (07-03-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00797720 , version 1

Citer

B. Walter, M. Faucher, E. Mairiaux, Z. Xiong, L. Buchaillot, et al.. Micro-résonateurs haute fréquence pour la microscopie à force atomique. Journées Nationales du GDR Micro Nano Systèmes-Micro Nano Fluidique, 2012, Bordeaux, France. ⟨hal-00797720⟩

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