MEMS piezoresistive ring resonator for AFM imaging with pico-Newton force resolution - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal of Micromechanics and Microengineering Année : 2013

MEMS piezoresistive ring resonator for AFM imaging with pico-Newton force resolution

Z. Xiong
  • Fonction : Auteur
B. Walter
  • Fonction : Auteur
E. Mairiaux
  • Fonction : Auteur
M. Faucher
L. Buchaillot
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00795965 , version 1 (01-03-2013)

Identifiants

Citer

Z. Xiong, B. Walter, E. Mairiaux, M. Faucher, L. Buchaillot, et al.. MEMS piezoresistive ring resonator for AFM imaging with pico-Newton force resolution. Journal of Micromechanics and Microengineering, 2013, 23, pp.035016-1-10. ⟨10.1088/0960-1317/23/3/035016⟩. ⟨hal-00795965⟩
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