MEMS piezoresistive ring resonator for AFM imaging with pico-Newton force resolution

Z. Xiong; B. Walter; E. Mairiaux; M. Faucher; L. Buchaillot; Bernard Legrand

doi:10.1088/0960-1317/23/3/035016

Article Dans Une Revue Journal of Micromechanics and Microengineering Année : 2013

MEMS piezoresistive ring resonator for AFM imaging with pico-Newton force resolution

, , , , , (1)

1

Z. Xiong

Fonction : Auteur

B. Walter

Fonction : Auteur

E. Mairiaux

Fonction : Auteur

M. Faucher

Fonction : Auteur
PersonId : 180403
IdHAL : marc-faucher
ORCID : 0000-0003-0206-9813
IdRef : 086294679

L. Buchaillot

Fonction : Auteur
PersonId : 180198
IdHAL : lionel-buchaillot
ORCID : 0000-0002-9844-0498
IdRef : 060779136

Bernard Legrand

Fonction : Auteur
PersonId : 4144
IdHAL : bernard-legrand
ORCID : 0000-0001-5158-3654
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Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

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https://hal.science/hal-00795965

Soumis le : vendredi 1 mars 2013-11:09:30

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Dates et versions

hal-00795965 , version 1 (01-03-2013)

Identifiants

HAL Id : hal-00795965 , version 1
DOI : 10.1088/0960-1317/23/3/035016

Citer

Z. Xiong, B. Walter, E. Mairiaux, M. Faucher, L. Buchaillot, et al.. MEMS piezoresistive ring resonator for AFM imaging with pico-Newton force resolution. Journal of Micromechanics and Microengineering, 2013, 23, pp.035016-1-10. ⟨10.1088/0960-1317/23/3/035016⟩. ⟨hal-00795965⟩

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