Article Dans Une Revue
ECS Transactions
Année : 2011
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https://hal.science/hal-00795902
Soumis le : vendredi 1 mars 2013-10:28:38
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Citer
G. Larrieu, Emmanuel Dubois, D. Ducatteau. CMOS integration using low thermal budget dopant-segregated metallic S/D junctions on thin-body SOI. ECS Transactions, 2011, 41, pp.275-282. ⟨10.1149/1.3633307⟩. ⟨hal-00795902⟩
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