CMOS integration using low thermal budget dopant-segregated metallic S/D junctions on thin-body SOI - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue ECS Transactions Année : 2011

CMOS integration using low thermal budget dopant-segregated metallic S/D junctions on thin-body SOI

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00795902 , version 1 (01-03-2013)

Identifiants

Citer

G. Larrieu, Emmanuel Dubois, D. Ducatteau. CMOS integration using low thermal budget dopant-segregated metallic S/D junctions on thin-body SOI. ECS Transactions, 2011, 41, pp.275-282. ⟨10.1149/1.3633307⟩. ⟨hal-00795902⟩
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