Non-contact thickness gauging of a thin film using surface waves and a void effect on their propagation

Sabrina Fourez; Frédéric Jenot; Mohammadi Ouaftouh; Marc Duquennoy; Mohamed Ourak

doi:10.1088/0957-0233/23/8/085608

Article Dans Une Revue Measurement Science and Technology Année : 2012

Non-contact thickness gauging of a thin film using surface waves and a void effect on their propagation

, (1) , , ,

1

Sabrina Fourez

Fonction : Auteur
PersonId : 1307661
IdRef : 171525531

Frédéric Jenot

Fonction : Auteur
PersonId : 745609
IdHAL : frederic-jenot
IdRef : 077096797

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

Mohammadi Ouaftouh

Fonction : Auteur
PersonId : 749862
IdHAL : mohammadi-ouaftouh
ORCID : 0000-0003-0048-3455
IdRef : 120084171

CV

Marc Duquennoy

Fonction : Auteur
PersonId : 750996
IdHAL : marc-duquennoy
ORCID : 0000-0003-1520-5992
IdRef : 162024606

Mohamed Ourak

Fonction : Auteur
PersonId : 750950
IdHAL : mohamed-ourak

Collection IEMN : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00790376

Soumis le : mercredi 20 février 2013-09:30:08

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Dates et versions

hal-00790376 , version 1 (20-02-2013)

Identifiants

HAL Id : hal-00790376 , version 1
DOI : 10.1088/0957-0233/23/8/085608

Citer

Sabrina Fourez, Frédéric Jenot, Mohammadi Ouaftouh, Marc Duquennoy, Mohamed Ourak. Non-contact thickness gauging of a thin film using surface waves and a void effect on their propagation. Measurement Science and Technology, 2012, 23, pp.085608-1-8. ⟨10.1088/0957-0233/23/8/085608⟩. ⟨hal-00790376⟩

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