Application of Mueller polarimetry in conical diffraction for critical dimension measurements in microelectronics - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Applied optics Année : 2006

Application of Mueller polarimetry in conical diffraction for critical dimension measurements in microelectronics

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Tatiana Novikova  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00789241

Soumis le : dimanche 17 février 2013-16:37:56

Dernière modification le : jeudi 1 août 2024-13:48:05

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Dates et versions

hal-00789241 , version 1 (17-02-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00789241 , version 1

Citer

Tatiana Novikova, Antonello de Martino, Sami Ben Hatit, Bernard Drevillon. Application of Mueller polarimetry in conical diffraction for critical dimension measurements in microelectronics. Applied optics, 2006, 45 (16), pp.3688. ⟨hal-00789241⟩

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