Communication Dans Un Congrès
Année : 2005
Katell Kervella : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00775887
Soumis le : lundi 14 janvier 2013-16:33:32
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:56
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00775887 , version 1
Citer
Olivier de Sagazan, Matthieu Denoual, P. Guil, D. Gaudin, Olivier Bonnaud. MEMS fabrication by selective polysilicon growth. Conf. Proc. of DTIP of MOEMS & MEMS 2005, May 2005, Montreux, Switzerland. pp.75-80. ⟨hal-00775887⟩
Collections
143
Consultations
0
Téléchargements