Fabrication of SiC nanopillars by inductively coupled SF6/O2 plasma.
J.H Choi.
,
L. Latu-Romain.
(1)
,
F. Dhalluin.
,
T. Chevolleau.
(1)
,
B. Salem
(1)
,
T. Baron.
(1)
,
D. Chaussende.
,
Edwige Bano
J.H Choi.
- Fonction : Auteur
L. Latu-Romain.
- Fonction : Auteur
- PersonId : 21942
- IdHAL : laurence-latu-romain
- ORCID : 0000-0002-9422-9636
- IdRef : 117889814
F. Dhalluin.
- Fonction : Auteur
B. Salem
- Fonction : Auteur
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- IdHAL : bassem-salem
- ORCID : 0000-0001-8038-3205
- IdRef : 092216625
T. Baron.
- Fonction : Auteur
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- IdHAL : thierry-baron
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D. Chaussende.
- Fonction : Auteur
- PersonId : 13077
- IdHAL : didier-chaussende
- ORCID : 0000-0002-4180-8749
- IdRef : 069663831
Edwige Bano
- Fonction : Auteur
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- IdHAL : edwige-bano
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