Dispositif microélectromécanique avec structure d'actionnement piezoélectrique - Archive ouverte HAL
Brevet Année : 2012

Dispositif microélectromécanique avec structure d'actionnement piezoélectrique

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00726444 , version 1 (30-08-2012)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00726444 , version 1

Citer

M. Faucher. Dispositif microélectromécanique avec structure d'actionnement piezoélectrique. N° de brevet: FR2971243 (A1). 2012. ⟨hal-00726444⟩
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