Etudes de guides actifs en nitrure de silicium enrichi en silicium et dopé par des ions néodymes pour une cavité laser a 1.06 µm
Résumé
Des guides d'onde ont été élaborés à partir de couches de nitrure de silicium enrichi en silicium et dopées par des ions Néodyme pour profiter de leur transition radiative à 1,06 µm. Nous avons étudié l'indice de réfraction de ces couches et leur rugosité, puis des guides d'onde confinée à 1D ou 2D (de type ruban) ont été élaborés notamment par photolithographie et gravure plasma. Ces guides ont été ensuite caractérisés optiquement : pertes optiques, champ proche des modes guidés et photoluminescence guidée en co-propagation et par " top-pumping ". Ces études permettent d'évaluer les potentialités de ce matériau pour la réalisation d'une cavité laser planaire sur substrat de silicium, excitée optiquement à 1.06 µm.